LED外延材料—MO源

LED外延材料—MO源
高纯金属有机源-MO源，是利用先进的金属有机化学气相沉积（MOCVD）或等离子增强型化学气相淀积（PECVD）或原子层沉积（ALD）等工艺生成化合物半导体材料的关键支撑原材料，因而被称为MOCVD的“前体物”，其在高温条件下与特殊气体（氮源气体、氧源气体、砷烷&磷烷等）生成高质量的薄膜材料，主要用于制造高亮度发光管（LED）、高迁移率晶体管、半导体激光器、太阳能电池等器件，并在红外探测、超高速计算机、相变存储器、射频集成电路芯片等的核心原材料之一。